檢查電子無塵車間工作正常所進行的各項測試中，其中一項就是對室內氣流的檢查。這是整個測試程序的重要組成部分。為了稀釋或消除室內的懸浮污染，從而防止污染在室內的積累，室內必須有充分的氣流流動，所以對氣流必須進行檢測。

在紊流潔凈室中，風的輸送和混合都是紊流方式進行的。為確保污染物被清楚，電子無塵車間的各個部分必須均實現良好的空氣混合。在單向流凈化車間中，為保證關鍵區域達到理想潔凈的水平，其送風直接來自高效過濾器。

電子無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：

（1）吹出面的風速不可有速度上的差異；
（2）地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

電子無塵車間一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
無塵車間內的工作臺等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少變得很低；組裝材料選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

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