電子芯片對于生產(chǎn)環(huán)境的要求是非常苛刻,需要在無菌、無靜電、無灰塵、無有害氣體的環(huán)境中,所以電子芯片必須在高等級潔凈度且溫濕度適宜的無塵車間下生產(chǎn)。可以最大限度的降低芯片在生產(chǎn)過程中被污染,所以對于企業(yè)生產(chǎn)電子芯片過程來說,無塵車間是不可替代的存在,建造電子芯片無塵車間需要注意這幾個(gè)問題:
1:室內(nèi)空間的空態(tài)噪聲等級應(yīng)該不大于60db (A)
2:無塵車間的室外與室內(nèi)的靜壓差不小于10pa,潔凈度區(qū)與非潔凈度區(qū)不應(yīng)小于5pa。
3:電子制造行業(yè)的無塵車間滿布比應(yīng)該合理分配,單向流潔凈室大于等于40%,垂直流潔凈室小于60%,只有這樣才可以,香則就會(huì)變成局部單向流。
4:有關(guān)電子無塵車間的凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng)和超溫?cái)嚯姳Wo(hù)(若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù))。天氣比較冷的地區(qū),應(yīng)該設(shè)置新風(fēng)系統(tǒng)的防凍保護(hù)措施。
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